水蒸氣等離子體發生器是采用過熱水蒸氣作為工作氣體產生熱等離子體炬的非轉移弧電弧等離子體發生裝置，產生的等離子體炬主要由氫和氧組成，它們都是氧化反應時的活性組分。

采用水蒸氣等離子體炬對有機廢棄物進行裂解氣化處理時的化學表達式如下：

即水蒸氣等離子體氣化的特有優勢是可以將有機物完全轉化能源，且不會產生氮氧化物等二次污染。